特許
J-GLOBAL ID：200903030663125828
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-276721
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136468
出願日： 1994年11月10日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 被検査体に存在する黒色欠陥と白色欠陥とを区別して検出でき、また欠陥の検出精度が高く、ローコストで製造が可能な欠陥検査装置を提供する。【構成】 黒色欠陥、及び白色欠陥の存在を示す、極性の異なる2つの信号の立ち上がり、立ち下がりの波形の傾斜を微分回路21で拡大し、そして、黒色欠陥の検出信号と白色欠陥の検出信号とを2値化回路22で分離し、被検査物3の実用上影響のない白色欠陥の検出信号を利用して制限信号を送出することにより、白色欠陥は完全に除去され、被検査物の実用上大きな問題となる黒色欠陥だけを、精度良く選択的に検出できる。
請求項（抜粋）：
シート状の被検査体を連続して移動させ、この被検査体の移動方向と直交する方向に検査光を走査して被検査体からの透過光もしくは反射光を受光器に入射させ、受光器から得られる光量信号の変化を監視して被検査体に欠陥部分があるか否かを検査する欠陥検査装置において、前記光量信号を微分する微分回路と、極性が互いに異なるスレッシュホールドレベルが設定され、前記微分回路からの微分信号を各々のスレッシュホールドレベルと比較し、微分信号が各々のスレッシュホールドレベルを越えたときに検知信号を出力する2種類の比較回路と、これらの比較回路の少なくとも一方に接続され、前記検知信号の入力に応答して他方の比較回路からの検知信号を所定時間だけ無効化し、微分信号がピークに達した直後に他方の比較回路から出力される検知信号を除去する制限回路とを設けたことを特徴とする欠陥検査装置。
引用特許：
前のページに戻る
