特許

J-GLOBAL ID：200903030669954273

液晶表示体用基板の検査装置

発明者： 南部 三球
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-234738
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062451
出願日： 1996年08月16日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 テスタを小型化すると共に、種々の基板に対してコンタクトユニットを簡単に交換することができる液晶表示体用基板の検査装置を提供する。【解決手段】 本検査装置20は、LCD基板10の周縁部に沿って多数配列されたドレイン電極パッド12にそれぞれ対応するプローブと、これらのプローブとそれぞれ導通するプリント配線25が形成された複数のFPC26とを有するコンタクトユニット21を備え、各FPC26をテスタT側へ接続し、各電極パッド12と一括して接触したそれぞれのプローブとテスタTとを導通してLCD基板10のアレイ検査を行う装置であり、各プリント配線25を順次切り替えるマルチプレクサ53をドレイン電極パッド12側の各FPC26にそれぞれ接続し、マルチプレクサ53とテスタTとを、プリント配線25の数より少ない配線を有するフラットケーブル27で接続した。

請求項（抜粋）：

液晶表示体用基板の周縁部に沿って多数配列されたゲート電極及びドレイン電極にそれぞれ対応する接触端子と、これらの接触端子とそれぞれ導通するプリント配線が形成された複数の可撓性プリント配線基板とを有するコンタクトユニットを備え、上記各プリント配線基板をテスタ側へ接続し、上記各電極と一括して接触したそれぞれの接触端子とテスタとを導通して液晶表示体用基板のアレイ検査を行う検査装置において、上記各プリント配線を順次切り替える切替回路を上記ドレイン電極側の各プリント配線基板にそれぞれ接続して設け、上記切替回路と上記テスタとを、上記プリント配線の数より少ない配線で接続したことを特徴とする液晶表示体用基板の検査装置。

IPC (4件)：

G01R 1/06 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 1/06 E ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/66 B ,  H01L 21/66 X