特許

J-GLOBAL ID：200903030671592800

研磨パッドの製造方法

発明者： 橋阪 和彦 ,  城 邦恭 ,  岡 哲雄
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070042
公開番号（公開出願番号）：特開2000-263422
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月26日
要約：

【要約】【課題】従来の研磨パッドは、製品ロット間で研磨レートにバラツキのあることが問題となっている。【解決手段】工程中に、(1)樹脂板の周囲をガスバリア性の材料で覆う工程(2)モノマを樹脂板中に含浸させる工程(3)加熱し、樹脂板を硬化させる工程を含むことを特徴とする研磨パッドの製造方法。

請求項（抜粋）：

工程中に、(1)樹脂板の周囲をガスバリア性の材料で覆う工程(2)モノマを樹脂板中に含浸させる工程(3)加熱し、樹脂板を硬化させる工程を含むことを特徴とする研磨パッドの製造方法。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B29D 31/00 ,  H01L 21/304 622

FI (3件)：

B24B 37/00 C ,  B29D 31/00 ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (16件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17 ,  4F213AA42 ,  4F213AB20 ,  4F213AG20 ,  4F213AH81 ,  4F213WA14 ,  4F213WA53 ,  4F213WA56 ,  4F213WA57 ,  4F213WA74 ,  4F213WA83 ,  4F213WA87 ,  4F213WB01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• クラッチフェーシングの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-017608   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 内装構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-201632   出願人：池田物産株式会社
• 特開昭63-150162