特許
J-GLOBAL ID：200903030671813016
自発光型ディスプレイ用ピラー付き基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 静男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-296517
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199011
出願日： 1996年11月08日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 スペーサーが高精度かつ高耐熱性であり、かつ基板面の粗れを起しにくい自発光型ディスプレイ用スペーサー付き基板の製造方法を提供する。【解決手段】 感光性ガラスの表面上のスペーサーを形成すべき部分をマスキングしながら感光性ガラスを露光して露光部分に対応する潜像を形成し、潜像からなる露光部分を結晶化し、結晶化した露光部分をエッチング処理により除去して、非露光の感光性ガラスからなるスペーサーをガラス基板上に形成する工程を含むことを特徴とする自発光型ディスプレイ用スペーサー付き基板の製造方法。
請求項（抜粋）：
感光性ガラス表面上のスペーサーを形成すべき部分をマスキングしながら感光性ガラスを露光して露光部分に対応する潜像を形成し、潜像からなる露光部分を結晶化し、結晶化した露光部分をエッチング処理により除去して、非露光の感光性ガラスからなるスペーサーをガラス基板上に形成する工程を含むことを特徴とする自発光型ディスプレイ用スペーサー付き基板の製造方法。
IPC (3件)：
H01J 9/02
, H01J 29/86
, H01J 31/12
H01J 9/02 B
, H01J 29/86 Z
, H01J 31/12 C
