大気圧イオン化質量分析方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：梶原辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-179312
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006606
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】一次イオン生成ガスの消費量を最小限に抑制する。【解釈手段】針電極18を有し一次イオン生成ガス1が供給されるイオン生成部22と、イオン生成部22に開口部によって連通され試料ガス4が供給される混合部24と、混合部24にてイオン化された試料ガス4を細孔部25を介して質量分析手段を有した質量分析部26に導く電極32とを備えており、イオン生成部22の一次イオン生成ガス1の導入口8と排気口13との間に循環路12が接続され、循環路12には第三流量調節器9、加圧ポンプ10、第三圧力調整器11が介設されている。余分の一次イオン生成ガス1は循環路12を経由して導入口8からイオン生成部22に循環されて再使用される。【効果】一次イオン生成ガスを循環再使用することで消費量を抑制できるため、大気圧イオン化質量分析計を長期分析モニタ装置として使用可能とする。

請求項（抜粋）：

イオン生成部に一次イオン生成ガスを供給して一次イオンを予め生成し、この一次イオンをイオン生成部から混合部に供給し、混合部にて一次イオンと混合部に供給された試料ガスとを混合させて試料ガスをイオン化させ、イオン化された試料ガスのうちの分析目的物質を分析する大気圧イオン化質量分析方法であって、前記イオン生成部から排気された一次イオン生成ガスを前記イオン生成部に循環させて再使用することを特徴とする大気圧イオン化質量分析方法。

IPC (3件)：

H01J 49/10 , G01N 27/62 , H01J 49/04

FI (3件)：

H01J 49/10 , G01N 27/62 G , H01J 49/04

Fターム (7件)：

5C038EE01 , 5C038EF03 , 5C038EF12 , 5C038GG08 , 5C038GH02 , 5C038GH08 , 5C038GH15

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