特許

J-GLOBAL ID：200903030678318169

ウェハストッカー及びストック方法

発明者： 和田 理 ,  中川 康幸 ,  黒川 博志 ,  上山 明美
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-057045
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244322
出願日： 2000年03月02日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 微粒子及び化学汚染物質の除去を迅速に行うウェハストッカー及びストック方法を提供する。【解決手段】 筐体1と、送風装置8を有し筐体1内で気体を循環させるための循環風路3、4、5、6と、開閉可能な扉7を有し循環風路に介在するウェハ保管部2と、循環風路に介在し循環気体中の微粒子を除去する微粒子除去部10と、循環風路に介在し循環気体中の化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部9とを備え、気体はウェハ保管部を上方から下方に向かって略0.3m/s以上の速度で通過する。

請求項（抜粋）：

筐体と、送風装置を有し前記筐体内で気体を循環させるための循環風路と、開閉可能な扉を有し前記循環風路に介在するウェハ保管部と、前記循環風路に介在し循環気体中の微粒子を除去する微粒子除去部と、前記循環風路に介在し循環気体中の化学汚染物質を除去する化学汚染物質除去部とを備え、前記気体は前記ウェハ保管部を上方から下方に向かって略0.3m/s以上の速度で通過することを特徴とするウェハストッカー。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  F24F 7/06

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  F24F 7/06 C

Fターム (15件)：

3L058BD01 ,  3L058BE02 ,  3L058BF01 ,  3L058BG03 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031NA03 ,  5F031NA13 ,  5F031NA16 ,  5F031NA17 ,  5F031NA18 ,  5F031PA26