特許

J-GLOBAL ID：200903030679775725

垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー及びこれを使用した垂直式走査型顕微鏡用プローブ

発明者： 中山 喜萬 ,  秋田 成司 ,  原田 昭雄 ,  大川 隆 ,  高野 雄一 ,  安武 正敏 ,  白川部 喜治
出願人/特許権者： 中山 喜萬 ,  大研化学工業株式会社 ,  セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 三木 久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-403558
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162335
出願日： 2000年11月26日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 探針となるナノチューブ先端が試料面に対し略垂直状に当接して試料の表面情報を高感度に検出できる垂直式走査型顕微鏡用プローブを実現する。【解決手段】 本発明に係る垂直式走査型顕微鏡用プローブは、カンチレバー2に固着されたナノチューブ探針の先端により試料表面24の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブ20において、ナノチューブ12の基端部14を固着する取付領域をカンチレバー2に設け、カンチレバー2を平均試料表面26に対し測定状態に配置したときに前記取付領域の高さ方向が前記平均試料表面26に対し略垂直状態になるように設けられ、ナノチューブ12の基端部14をこの取付領域の高さ方向に固着させたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

カンチレバー2に固着されたナノチューブ探針の先端18により試料表面24の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、探針となるナノチューブ12の基端部14を固着する取付領域をカンチレバー2に設け、カンチレバー2を平均試料表面26に対し測定状態に配置したときに前記取付領域の高さ方向が平均試料表面26に対し略垂直状態になるように設けられることを特徴とする垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー。

IPC (4件)：

G01N 13/16 ,  G01N 13/12 ,  G12B 21/04 ,  G12B 21/08

FI (4件)：

G01N 13/16 C ,  G01N 13/12 D ,  G12B 1/00 601 B ,  G12B 1/00 601 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ナノチューブ、ナノチューブプローブ及びそれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-173106   出願人：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
• 原子間力顕微鏡用探針付カンチレバーおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-271278   出願人：松下電器産業株式会社
• プローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-130163   出願人：株式会社ニコン