特許

J-GLOBAL ID：200903030680597946

形状測定装置

発明者： 井関 敏之
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-133908
公開番号（公開出願番号）：特開2001-317933
出願日： 2000年05月02日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：

【要約】【課題】 重量増加の要因となる大面積の反射板をプローブに設けなくとも、プローブの位置測定を行うことのできる形状測定装置を提供する。【解決手段】 Z軸方向に可動な接触式プローブを弾性部材を介して支持するZ軸ステージ3と、このZ軸ステージの位置をZ軸方向に移動させるZ軸移動手段4と、前記Z軸ステージの位置をZ軸方向と直交方向に移動させるXY軸移動手段17と、被検物11に対して相対位置関係が固定的に設けられた基準平面13と、この基準平面に対するプローブ1の位置を測定するプローブ位置測定手段6と、前記XY軸移動手段の移動量を測定するXY軸移動量測定手段と、前記Z軸移動手段の移動量を測定するZ軸移動量測定手段とを備えた形状測定装置において、前記プローブ位置測定手段6の測長光路中に光束径縮小手段を設けてなる。

請求項（抜粋）：

Z軸方向に可動な接触式プローブを弾性部材を介して支持するZ軸ステージと、このZ軸ステージの位置をZ軸方向に移動させるZ軸移動手段と、前記Z軸ステージの位置をZ軸方向と直交方向に移動させるXY軸移動手段と、被検物に対して相対位置関係が固定的に設けられた基準平面と、この基準平面に対するプローブの位置を測定するプローブ位置測定手段と、前記XY軸移動手段の移動量を測定するXY軸移動量測定手段と、前記Z軸移動手段の移動量を測定するZ軸移動量測定手段とを備えた形状測定装置において、前記プローブ位置測定手段の測長光路中に光束径縮小手段を設けること特徴とする形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 21/20 101 ,  G01B 5/20 101 ,  G01B 11/00

FI (4件)：

G01B 21/20 101 Z ,  G01B 5/20 101 Z ,  G01B 11/00 G ,  G01B 11/00 Z

Fターム (51件)：

2F062AA04 ,  2F062AA62 ,  2F062BC80 ,  2F062CC21 ,  2F062CC26 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF05 ,  2F062FG07 ,  2F062FG08 ,  2F062GG37 ,  2F062GG61 ,  2F062GG75 ,  2F062HH05 ,  2F062HH13 ,  2F062HH22 ,  2F062HH34 ,  2F062JJ09 ,  2F062MM04 ,  2F065AA02 ,  2F065AA09 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC22 ,  2F065FF16 ,  2F065FF17 ,  2F065FF52 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065TT02 ,  2F069AA02 ,  2F069AA06 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG59 ,  2F069HH01 ,  2F069HH14 ,  2F069HH15 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ19 ,  2F069MM04 ,  2F069MM24 ,  2F069PP01