特許
J-GLOBAL ID:200903030699060200
傾き計測方法及びその装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
則近 憲佑
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-012089
公開番号(公開出願番号):特開平6-221834
出願日: 1993年01月28日
公開日(公表日): 1994年08月12日
要約:
【要約】【構成】 前記撮像画像中のパターンのエッジを検出してエッジのうち所定の測定点の座標を抽出し、前記測定点のうちから任意の2点の座標を順次読み出してその2点間の傾きを求め予め設定された複数の傾き区分のうち該当する区分に計数して頻度分布を算出し、前記頻度分布のうち最大の度数を示す傾き区分を当該検査対象の傾きとして採用する。【効果】 吸着した電子部品の傾きをカメラで撮像して計測する場合であって、吸着ノズルの像も撮り込まれたときであっても、正確に電子部品の傾きを測定することができる。
請求項(抜粋):
検査対象を撮像する撮像工程と、前記撮像画像中のパターンのエッジを検出してエッジのうち所定の複数点の座標を抽出する(以下、抽出されたエッジを測定点とする。)エッジ検出工程と、前記測定点のうちから任意の2点の座標を順次読み出してその2点間の傾きを求め予め設定された複数の傾き区分のうち該当する区分に計数して頻度分布を算出する頻度分布算出工程と、前記頻度分布のうち最大の度数を示す傾き区分を当該検査対象の傾きとして採用する傾き算出工程とを具備することを特徴とする傾き計測方法。
IPC (2件):
G01B 11/26
, G06F 15/70 350
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