特許

J-GLOBAL ID：200903030701127880

感光性積層体

発明者： 冨田 博史 ,  水谷 圭
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-291802
公開番号（公開出願番号）：特開平10-128930
出願日： 1996年11月01日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】【課題】 解像度と取り扱い性の両方の特性を同時に満足し、且つ支持体フィルムとフォトレジスト感光層の剥離性に優れた感光性積層体を提供する。【解決手段】 厚み10μm以上のフィルム支持体にフォトレジスト感光層を積層した感光性積層体であって、該フィルム支持体が、平均粒径0.01〜0.1μmの一次粒子の凝集体である多孔質シリカ粒子を含有するが、フィルム中での50μm以上の大きさの粗大凝集粒子の個数が10個/m2以下であり、表面の中心線平均粗さ(Ra)が0.01μm以上であり、厚み25μmにおけるフィルムへーズが5%以下である二軸延伸ポリエステルフィルムであることを特徴とする感光性積層体。

請求項（抜粋）：

厚み10μm以上のフィルム支持体にフォトレジスト感光層を積層した感光性積層体であって、該フィルム支持体が1)平均粒径0.01〜0.1μmの一次粒子の凝集体である多孔質シリカ粒子を含有するが、フィルム中での50μm以上の大きさの粗大凝集粒子の個数が10個/m2以下であり、2)フィルム表面の中心線平均粗さ(Ra)が0.01μm以上であり、かつ3)厚み25μmにおけるフィルムヘーズが5%以下である二軸延伸ポリエステルフィルムであることを特徴とする感光性積層体。