特許

J-GLOBAL ID：200903030703034200

メッキ方法

発明者： ジョセフ・アール・モンタノ ,  ジェイソン・エイ・リーズ ,  ルーク・ダブリュー・リトル
出願人/特許権者： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
代理人 (2件)： 千田 稔 ,  橋本 幸治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-036252
公開番号（公開出願番号）：特開2006-225765
出願日： 2006年02月14日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：

【課題】基体、例えば、光学基体への金属層の接着を改善する方法の提供。および、かかる方法によって製造される装置の提供。【解決手段】本発明の方法は、金属堆積に先立ち、メッキ触媒を含む接着促進組成物の層を基体上で用いる。本発明は、基体上に金属膜を堆積する方法であって、基体を準備する工程、基体上に接着促進組成物の層を堆積する工程、および接着促進組成物上に金属層を堆積する工程を含み、接着促進組成物が膜形成ポリマー、メッキ触媒およびポロゲンを含有する方法に関する。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

基体上に金属膜を堆積する方法であって、基体を準備する工程、基体上に接着促進組成物の層を堆積する工程、および接着促進組成物上に金属層を堆積する工程を含み、接着促進組成物が膜形成ポリマー、メッキ触媒およびポロゲンを含有する方法。一態様において、基体は光学基体である。

IPC (2件)：

C23C 18/28 ,  C23C 18/18

FI (2件)：

C23C18/28 ,  C23C18/18

Fターム (10件)：

4K022AA03 ,  4K022AA11 ,  4K022AA41 ,  4K022BA01 ,  4K022BA03 ,  4K022BA08 ,  4K022BA14 ,  4K022BA36 ,  4K022CA06 ,  4K022DA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国特許第6,661,642号明細書