特許

J-GLOBAL ID：200903030703274163

縮合樹脂及びこれを含有する感放射線性樹脂組成物

発明者： 福永 誠規 ,  梅田 真一 ,  小柳 敬夫 ,  北折 智之 ,  長澤 孝太郎
出願人/特許権者： 日本化薬株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225294
公開番号（公開出願番号）：特開平5-043641
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【構成】下記式(1)で表されるヒドロキシメチル化合物を下記式(2)を構成単位に含むポリマ-と縮合させることにより得られる縮合樹脂及びこれを含有する感放射線性樹脂組成物。【化1】(式(1)中R1 は炭素数1から4のアルキル基を、又式(2)中R2 は水素又はメチル基をそれぞれ示す)【効果】本発明の縮合樹脂及びこれを含有する感放射線性樹脂組成物は、遠紫外部に高透過率を有し、遠紫外線リソグラフィを利用する半導体集積回路の製造に極めて有用である。

請求項（抜粋）：

式(1)で表されるヒドロキシメチル化合物を【化1】(式中R1 は炭素数1から4のアルキル基を示す)式(2)を構成単位に含むポリマーと縮合させることにより得られる縮合樹脂。【化2】(式中R2 は水素あるいはメチル基を示す)

IPC (4件)：

C08G 8/32 NBC ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027