膜形成用組成物、膜の形成方法および低密度化膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：白井重隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-177698
公開番号（公開出願番号）：特開2001-049175
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】得られる塗膜が、半導体素子などにおける層間絶縁膜として有用な誘電率特性、吸水性特性に優れた、膜形成用組成物を提供すること。【解決手段】 (A)R2 R3 Si(OR1 )2 および/またはR2 Si(OR1 )3 と、Si(OR1 )4 (R1 〜R3 は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を示す)、とを含有するシラン化合物、その加水分解物および/またはその縮合物、(B)ポリエーテル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアンハイドライドおよび(メタ)アクリル系重合体の群から選ばれた少なくとも1種の有機ポリマー、ならびに(C)アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒およびエステル系溶媒の群から選ばれた少なくとも1種の溶媒、を含有する膜形成用組成物。

請求項（抜粋）：

(A)(A-1)下記一般式(1)で表される化合物および/または(A-2)下記一般式(2)で表される化合物と、(A-3)下記一般式(3)で表される化合物、とを含有するシラン化合物、その加水分解物および/またはその縮合物であり、各成分を完全加水分解縮合物に換算したときに、(A-3)成分が(A-1)成分、(A-2)成分および(A-3)成分の総量に対して5〜60重量%であり、かつ〔(A-1)成分の重量〕<〔(A-2)成分の重量〕、R<SP>2 </SP>R<SP>3 </SP>Si(OR<SP>1 </SP>)<SB>2 </SB> (1)R<SP>2 </SP>Si(OR<SP>1 </SP>)<SB>3 </SB> (2)Si(OR<SP>1 </SP>)<SB>4 </SB> (3)(R<SP>1 </SP>〜R<SP>3 </SP>は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を示す。)(B)ポリエーテル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアンハイドライドおよび(メタ)アクリル系重合体の群から選ばれた少なくとも1種の有機ポリマー、ならびに(C)アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒およびエステル系溶媒の群から選ばれた少なくとも1種の溶媒を含有することを特徴とする膜形成用組成物。

IPC (11件)：

C09D183/04 , C08L 33/02 , C08L 67/00 , C08L 69/00 , C08L 71/00 , C08L 73/02 , C08L 83/04 , C09D133/02 , C09D167/00 , C09D169/00 , C09D171/00

FI (11件)：

C09D183/04 , C08L 33/02 , C08L 67/00 , C08L 69/00 , C08L 71/00 , C08L 73/02 , C08L 83/04 , C09D133/02 , C09D167/00 , C09D169/00 , C09D171/00

Fターム (61件)：

4J002BG052 , 4J002BG062 , 4J002BG072 , 4J002BH022 , 4J002CF032 , 4J002CF182 , 4J002CG012 , 4J002CH022 , 4J002CH052 , 4J002CP051 , 4J002EC036 , 4J002EC046 , 4J002EE036 , 4J002EE046 , 4J002EH006 , 4J002EH036 , 4J002EH146 , 4J002EH156 , 4J002EL046 , 4J002EL066 , 4J002EP016 , 4J002EU026 , 4J002EU076 , 4J002EU236 , 4J002GH00 , 4J002GP00 , 4J002GQ01 , 4J002GQ05 , 4J038CG141 , 4J038CH031 , 4J038CH041 , 4J038CH051 , 4J038CH061 , 4J038CH201 , 4J038CJ211 , 4J038DD011 , 4J038DD041 , 4J038DE011 , 4J038DF011 , 4J038DF021 , 4J038DF041 , 4J038DL051 , 4J038DN011 , 4J038GA02 , 4J038GA06 , 4J038GA08 , 4J038GA15 , 4J038JA17 , 4J038JA25 , 4J038JA32 , 4J038JA53 , 4J038JB12 , 4J038JB25 , 4J038JC32 , 4J038KA06 , 4J038MA07 , 4J038MA14 , 4J038NA07 , 4J038NA21 , 4J038PA17 , 4J038PA19

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