特許
J-GLOBAL ID：200903030714043600
固体撮像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-280586
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168315
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 従来のIT-CCDにおいては、水平転送CCDに駆動パルスを供給するために使用されるパルス供給用端子の負荷静電容量が増加して、水平転送CCDの消費電力が増大する。【解決手段】 複数列、複数行に亘って画素ずらし配置された多数個の光電変換素子と、信号電荷を蛇行しながら水平転送CCDに転送するための複数本の垂直転送CCDと、信号電荷の前記垂直転送CCDへの読み出しを光電変換素子毎に制御するための読み出しゲート領域とを備えたIT-CCDを作製するにあたり、前記複数の光電変換素子列の2列に1本ずつ、該2列の光電変換素子列の平面視上の間の前記半導体基板表面に垂直転送CCD用の電荷転送チャネルをそれぞれ形成し、前記の垂直転送CCDを構成する複数本の転送電極をハニカム状に形成し、さらに、前記電荷転送チャネルそれぞれの下流端よりも更に下流側に形成された複数個の電荷転送段によって構成される調整部を設ける。
請求項（抜粋）：
半導体基板の表面に一定のピッチで複数列、複数行に亘って配列された多数個の光電変換素子であって、1つの光電変換素子列および1つの光電変換素子行がそれぞれ複数個の光電変換素子によって構成され、奇数列を構成する前記複数個の光電変換素子に対し、偶数列を構成する前記複数個の光電変換素子の各々は各光電変換素子列内での光電変換素子同士のピッチの約1/2、列方向にずれており、奇数行を構成する前記複数個の光電変換素子に対し、偶数行を構成する前記複数個の光電変換素子の各々は各光電変換素子行内での光電変換素子同士のピッチの約1/2、行方向にずれており、前記光電変換素子列の各々が奇数行または偶数行の光電変換素子のみを含む多数個の光電変換素子と、前記光電変換素子列の2列に1本ずつ、該2列の光電変換素子列の平面視上の間の前記半導体基板表面に形成され、全体として前記光電変換素子列方向に延在する蛇行形状を呈する電荷転送チャネルと、前記電荷転送チャネルの各々を平面視上横断するように前記半導体基板上に形成された複数本の転送電極であって、各々が、前記電荷転送チャネルとの平面視上の交差部において1つの電荷転送段を構成する転送路形成部を前記電荷転送チャネルと同じ数だけ有し、1行の光電変換素子行を挟んで相隣る転送電極同士が平面視上離合を繰り返して、前記偶数行または奇数行の光電変換素子行の各光電変換素子毎に該光電変換素子を平面視上取り囲んで光電変換素子領域を画定しながら、全体としては前記光電変換素子行方向に延びている複数本の転送電極と、前記光電変換素子の1個に1つずつ、該光電変換素子と該光電変換素子に対応する電荷転送チャネルとに隣接して前記半導体基板表面に形成された読み出しゲート領域であって、偶数行の光電変換素子に対応する読み出しゲート領域と奇数行の読み出しゲート領域とが、互いに異なる転送電極によって平面視上覆われている読み出しゲート領域と、前記電荷転送チャネルそれぞれの下流端よりも更に下流側に形成され、前記電荷転送チャネルの各々を移動してくる電荷の位相を調節する複数個の電荷転送段によって構成される調整部とを具備した固体撮像装置。
IPC (6件)：
H01L 27/148
, H01L 27/14
, H01L 29/762
, H01L 21/339
, H04N 5/335
, H04N 9/07
H04N 5/335 F
, H04N 5/335 U
, H04N 9/07 A
, H01L 27/14 B
, H01L 27/14 D
, H01L 29/76 301 A
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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