特許
J-GLOBAL ID：200903030716033971
高さ測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 健二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-226269
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068608
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】被検査物の表面の高さ分布や最高点、最低点を短時間で求める。【解決手段】被検査物の表面の2次元画像データを高さ方向に走査して複数取得し、それぞれの領域での画像データの周波成分またはコントラスト成分が最も高くなる位置を、それぞれの領域の高さ位置として検出する。高さ方向の機械的な走査及び光電変換工程を1回で行い、表面の高さ分布を短時間で求めることができる。
請求項（抜粋）：
被検査物の表面の高さ方向の位置を画像処理によって検出する測定装置において、被検査物の表面からの光を光学系を介して光電変換手段に照射させて得られる電気信号による二次元の画像データの、該被検査物の表面を分割した複数の領域にそれぞれ対応する部分から取得した二次元の画像データ群を、該被検査物の高さ方向に走査して複数の高さ位置毎に取得し、前記複数の領域各々において、前記画像データ群の二次元方向の高周波数成分が、前記高さ方向で最も大きくなる位置を前記被検査物の表面の高さとして検出することを特徴とする測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 H
, G01B 11/02 Z
