特許
J-GLOBAL ID：200903030719036238
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-047992
公開番号（公開出願番号）：特開平5-218149
出願日： 1992年02月04日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 例えばウエハ上のICチップについて高い精度で電気的測定を行い、かつ高い周波数で測定可能にすること。【構成】 ウエハW上のICチップに接触されるプローブ針21を備えたプローブカード2にインターフェイスボード5を一体的に設け、このインターフェイスボード5を介してプローブカード2とテストヘッド3のパフォーマンスボード31とを電気的に接触させるようにする。インターフェイスボード5はプリント基板6の両面に夫々ゴムシート7を貼着して構成され、このゴムシート7は、パフォーマンスボード31及びプローブカード2の各電極32、24に対応する部分においては、加圧されて導電性となる加圧導電ゴムよりなる接触部71が形成され、その他の部分は絶縁ゴム層72により構成される。
請求項（抜粋）：
被検査体の電極パッドにプローブカードのプローブ針を接触させると共に、プローブカードの電極とテストヘッドの電極とを電気的に接触させ、被検査体の電気的特性を測定するプローブ装置において、前記プローブカードの電極とテストヘッドの電極との間に、加圧されたときに導電性となる加圧導電ゴムよりなる接触部を介在させたことを特徴とするプローブ装置。
IPC (2件)：
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