特許
J-GLOBAL ID：200903030732542789
固体撮像素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾身 祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-234014
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066382
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 垂直電荷転送電極にクロックパルスを供給する、遮光膜を兼ねる金属配線によって、光電変換部内に局部的にポテンシャル井戸が形成されるのを防止して光電変換部からの信号電荷の読み出し特性が劣化するのを防止する。【構成】 光電変換部となるn型半導体領域11の列に隣接して、垂直電荷転送領域となるn型半導体領域13を設け、その上に第1、第2の垂直電荷転送電極6a、6bを形成する。各垂直電荷転送領域上に、転送電極6a、6bに対するクロックの供給配線となる、遮光膜を兼ねる第1〜第4の金属配線8a〜8dを形成する。配線8a〜8cは第1層金属配線により、配線8dは第2層金属配線により形成する。光電変換部に隣接する配線8a、8cは、転送クロックのみを伝送し、配線8b、8dは、転送クロックと読み出しパルスを伝送する。
請求項（抜粋）：
二次元的に配置された光電変換部と、前記光電変換部が垂直方向に並べられてなる光電変換部列に沿って設けられ、前記光電変換部において生成された信号電荷を読み出しこれを垂直方向に転送する、垂直電荷転送電極と垂直電荷転送領域とを有する垂直電荷転送部と、各垂直電荷転送部上に設けられた、前記垂直電荷転送電極に垂直転送用クロックのみを供給する遮光膜を兼ねる給電配線と、各垂直電荷転送部上に設けられた、垂直転送用クロックおよび前記光電変換部から前記垂直電荷転送領域へ信号電荷を読み出すための読み出しパルスを供給する遮光膜を兼ねる給電配線と、を備え、前記光電変換部と前記垂直電荷転送領域との間の領域を遮光する給電配線は垂直転送用クロックのみを供給するものであることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3件)：
H01L 27/148
, H03K 5/135
, H04N 5/335
