特許
J-GLOBAL ID：200903030733496136
ポリウレタン研磨パッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-308351
公開番号（公開出願番号）：特開2009-131916
出願日： 2007年11月29日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：
【課題】スライス可能な軟質ポリウレタン研磨部材用ブロックから粗仕上げ用の大面積で厚さ精度に優れた硬質ポリウレタン研磨パッドを製造する方法を提供する。 【解決手段】25°CでのJIS-A硬度が90以下である軟質ポリウレタン研磨部材用ブロックをスライス加工したのち、得られたポリウレタンパットを水に浸し、含浸時の粘度で200mPa・s以下の有機ポリイソシアネートを含浸させ、その後、キュアすることにより高硬度化することにより解決する。 【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
25°CでのJIS-A硬度が90以下である軟質ポリウレタン研磨部材用ブロック(A)をスライス加工して、、保水量が1〜5質量%ポリウレタンパッド(B)を得た後、有機ポリイソシアネート(C)を含浸させ、その後、キュアすることにより高硬度化することを特徴とする硬質ポリウレタン研磨パッドの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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