特許
J-GLOBAL ID：200903030736631719
酸化インジウム・酸化スズ焼結体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262559
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070210
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】【構成】 酸化インジウム・酸化スズ成型体を1200°Cに達するまでは、酸素濃度21容量%以下の雰囲気で加熱した後、続いて1200〜1700°C、酸素濃度21容量%をこえる雰囲気で焼結することを特徴とする酸化インジウム・酸化スズ焼結体の製造方法。【効果】 焼結密度90%以上の高密度ITO焼結体を得られる。
請求項（抜粋）：
酸化インジウム粉末及び酸化スズ粉末を成型した後、1200°Cに達するまで酸素濃度21容量%以下の雰囲気で加熱した後、1200〜1700°Cまで酸素濃度21容量%を越える雰囲気中で焼結することを特徴とする酸化インジウム・酸化スズ焼結体の製造方法。
IPC (5件)：
C04B 35/00
, C01G 15/00
, C01G 19/02
, C04B 35/64
, C23C 14/34
