特許

J-GLOBAL ID：200903030737294627

多座標測定装置

発明者： ヴアルター・フーバー ,  ミヒヤエル・アルゴイアー
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-002679
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288722
出願日： 1994年01月14日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】 構造が非常に簡単であっても、高い測定精度を保証し、光源より放出した光から異なった座標方向に回折する多数の分割ビーム束を発生する目盛板としての少なくとも一つの直交回折格子と、回折した分割ビーム束に付属する多数の検出器を有する走査ユニットとを備えた回折光学的に動作する多座標測定装置提供する。【構成】 走査ユニットが集積光学回路を有し、この回路の基板3上に少なくとも一つの入射要素5,6,11,12が配設され、この入射回折格子により回折した分割ビーム束4a,4b,4c,4dが光導波体7,8,13,14に導入され、分割ビーム束を対にして干渉させる空間的に分離している多数の結合器9,15を経由して検出器10,16に導入される

請求項（抜粋）：

光源より放出された光から異なった座標方向に回折する多数の分割ビーム束を発生する目盛板としての少なくとも一つの直交回折格子と、回折した分割ビーム束に付属する多数の検出器を有する走査ユニットとを備えた回折光学的に動作する多座標測定装置において、走査ユニットが集積光学回路を有し、この回路の基板(3,32,33)上に少なくとも一つの入射要素(5,6,11,12;52,62,112,122;53)が配設され、この入射回折格子により回折した分割ビーム束(4a,4b,4c,4d)が光導波体(7,8,13,14;72,82,132,142;21,22,23,24;73,83,133,143)に導入され、分割ビーム束を対にして干渉させる空間的に分離している多数の結合器(9,15;92,152,25,26;93,153)を経由して検出器(10,16;27,28,102,162;103,163)に導入されることを特徴とする多座標測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/03 ,  G01D 5/38

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平1-269002
  
• 特開昭62-261004
  
• 特開昭63-037203
  
• 特開昭63-188719
  
• 特開昭63-210602