特許

J-GLOBAL ID：200903030745807471

異物検査装置

発明者： 河野 和宏 ,  高橋 重和
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-129540
公開番号（公開出願番号）：特開平10-318943
出願日： 1997年05月20日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 異物の組成や厚さによらず異物検出が可能な異物検査装置を提供する。【解決手段】 被検査物sを通過するX線エネルギーを異ならせて得られる2つの透過X線データを用いて、被検査物中に含まれる異物を判定し検出する装置であり、検出器2で検出された透過X線データを、被検査物sと同等の組成の基準物質の厚さに変換し、2つの変換データを比較するものであり、異物と被検査物で変換される厚さが異なることを用いて、被検査物と異物との識別を行う。異物検査装置1は、透過X線によって被検査物の異物検出を行う異物検査装置において、異なるX線エネルギーによる同一被検査物に対する2つの透過X線データを検出する検出器2a,2bと、透過X線データを基準物質の厚さに厚さ変換する変換器4と、基準物質の厚さに変換した2つの変換データを用いて、被検査物と異物の識別を行う判定器6を備える。

請求項（抜粋）：

透過X線によって被検査物の異物検出を行う異物検査装置において、異なるX線エネルギーによる同一被検査物に対する2つの透過X線データを検出する検出器と、前記透過X線データを基準物質の厚さに変換する変換器と、前記基準物質の厚さに変換した2つの変換データを用いて、被検査物と異物の識別を行う判定器を備えたことを特徴とする異物検査装置。

IPC (3件)：

G01N 23/18 ,  G01N 23/10 ,  G01V 5/00

FI (3件)：

G01N 23/18 ,  G01N 23/10 ,  G01V 5/00 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭62-211549