特許
J-GLOBAL ID：200903030746791099

形状測定機

発明者：
後藤 智徳

後藤 智徳 について

, 
玉井 利幸

玉井 利幸 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-167230
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155696
出願日： 2006年06月16日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】本発明の目的は、表面粗さ測定が適正に行える形状測定機を提供することにある。【解決手段】ワーク22の評価対象面の断面形状情報を含む測定データを出力する粗さセンサー14と、該ワーク22上の該粗さセンサー14位置を該評価対象面に沿って相対移動させ、その相対移動量を移動分解能Δθピッチでインデックス移動量情報として出力する相対移動機構12と、該粗さセンサー14からの測定データを、該相対移動機構12が移動分解能Δθ移動するのに要する時間よりも短い一定時間間隔tsでサンプリングするタイマーサンプリング手段16と、該相対移動機構12からのインデックス移動量情報に基づき該タイマーサンプリング手段16からの一定時間間隔tsの測定データを間隔定ピッチの測定データとし、該間隔定ピッチの測定データに基づきワーク22の表面粗さを評価するデータ処理機構18と、を備えたことを特徴とする形状測定機10。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面粗さの評価対象面を持つワークが載置されるテーブルと、 前記テーブルに載置されたワークの評価対象面の断面形状を検出し、その断面形状情報を含む測定データを出力する粗さセンサーと、 前記ワーク上の前記粗さセンサー位置が前記評価対象面に沿って相対移動するように、該テーブルと該粗さセンサーとを相対移動させ、その相対移動量を移動分解能Δθピッチでインデックス移動量情報として出力する相対移動機構と、 前記粗さセンサーからの測定データを、前記相対移動機構が移動分解能Δθ移動するのに要する時間よりも短い一定時間間隔tsでサンプリングするタイマーサンプリング手段と、 前記相対移動機構からのインデックス移動量情報に基づき、前記タイマーサンプリング手段からの一定時間間隔tsの測定データを、間隔定ピッチの測定データとし、該間隔定ピッチの測定データに基づき、ワークの評価対象面の表面粗さを評価するデータ処理機構と、 を備え、前記データ処理機構が、前記相対移動機構の移動分解能Δθピッチよりも小さく、かつ粗さ評価のための十分小さな、前記間隔定ピッチの測定データを得ることを特徴とする形状測定機。
IPC (2件)：
G01B 21/30 ,  G01B 21/20
FI (2件)：
G01B21/30 ,  G01B21/20 C
Fターム (15件)：
2F069AA57 ,  2F069AA66 ,  2F069CC02 ,  2F069CC05 ,  2F069DD19 ,  2F069GG01 ,  2F069GG11 ,  2F069GG31 ,  2F069GG52 ,  2F069HH02 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ17 ,  2F069LL01 ,  2F069NN21
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 回転角度測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-218717   出願人：日立建機株式会社
  • 回転角度測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-311184   出願人：ソニー株式会社
  • 回転角度測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-033714   出願人：株式会社東京精密

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