特許
J-GLOBAL ID:200903030747063879
電子ビーム溶融精製装置及び方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中村 稔 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-261088
公開番号(公開出願番号):特開2003-075072
出願日: 2001年08月30日
公開日(公表日): 2003年03月12日
要約:
【要約】【課題】 電子ビーム溶融精製中に電子ビーム軌道に影響を与えず、且つ試料が導電性を有しない場合にも適用可能な、溶融精製対象物を攪拌する装置及び方法を提供する。【解決手段】 本発明は、真空容器20と、この真空容器内を真空に保持する真空排気装置22と、真空容器内に電子ビーム12を発生させる電子ビーム発生器14と、電子ビームの軌道を偏向する磁場24を発生させる偏向コイル26と、電子ビームによって溶融される試料を収容するるつぼ18と、このるつぼの底部18aを貫通する孔部18bと、この孔部に設けられ、このるつぼ内の試料にガスを導入するガス導入用ノズル28と、を有する電子ビーム溶融精製装置に関する。
請求項(抜粋):
真空容器と、この真空容器内を真空に保持する真空排気装置と、真空容器内に電子ビームを発生させる電子ビーム発生器と、電子ビームの軌道を偏向する磁場を発生させる偏向コイルと、電子ビームによって溶融される試料を収容するるつぼと、このるつぼの底部を貫通する孔部と、この孔部に設けられ、上記るつぼ内の試料にガスを導入するガス導入用ノズルと、を有することを特徴とする電子ビーム溶融精製装置。
IPC (4件):
F27B 14/04
, F27B 14/06
, F27B 14/10
, F27D 11/08
FI (4件):
F27B 14/04
, F27B 14/06
, F27B 14/10
, F27D 11/08
Fターム (15件):
4K046AA00
, 4K046BA01
, 4K046BA02
, 4K046BA03
, 4K046BA05
, 4K046CC01
, 4K046CC05
, 4K046CD01
, 4K046CD20
, 4K063AA03
, 4K063AA16
, 4K063BA02
, 4K063BA03
, 4K063CA03
, 4K063FA57
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