特許
J-GLOBAL ID：200903030750131567
顕微鏡自動焦点装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-292845
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152550
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【構成】 3本の焦点検出光軸42上には、合焦点位置、前焦点位置、後焦点位置に対応した3つのラインセンサが配置されている。ラインセンサ61〜63からの画像信号a1 〜a2 の微分絶対値の積算量を求めて合焦度信号b1 〜b3 とし、差動アンプ9で合焦度信号b2 ,b3 の差動増幅により焦点検出信号cと、補正値演算手段11で式(1)で示される演算を行い、補正信号dとを、乗算回路12により乗算して焦点ずれ信号e発生する。これをフィードバック信号としてフォーカスサーボをかける。d=-2z2 /(b2 +b3 -2b1 ) ......... (1)【効果】 焦点検出信号のゲイン補正を行うため、フィードバック信号である焦点ずれ信号はパターンによらず一定のゲインを有する信号となるため、観察するパターンに影響されずに制御性のよいフォーカスサーボをかけることができる。
請求項（抜粋）：
光学顕微鏡の結像光軸を観察光軸と3本の焦点検出光軸とに分割する光分割器と、前記3本の各焦点検出光軸上にあって、合焦時の対物レンズによる実像位置と、観察対象が合焦位置から所定量だけ前焦点側および後焦点側にずれたときの前記対物レンズによる実像位置とに配置された3個の撮像手段と、前記撮像手段のそれぞれから出力される画像信号をもとに合焦度を検出して合焦度信号を出力する3個の合焦度検出手段と、前焦点側と後焦点側の2つの合焦度信号の差動増幅を行う差動アンプと、前記3個の合焦度検出手段からそれぞれ出力される3つの合焦度信号をもとに補正信号を演算して出力する補正値演算手段と、前記差動アンプと前記補正値演算手段との出力信号を乗算して焦点検出信号を出力する乗算回路とを含むことを特徴とする顕微鏡自動焦点装置。
IPC (3件)：
G02B 7/28
, G02B 21/00
, G03B 13/36
G02B 7/11 J
, G02B 7/11 N
, G03B 3/00 A
