特許

J-GLOBAL ID：200903030751716488

局所電荷分布測定方法

発明者： 安江 孝夫
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-005348
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188103
出願日： 1992年01月16日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】 絶縁性試料の局所電荷分布測定を行う。【構成】 原子間力顕微鏡のカンチレバー1の一部分に導電性処理部1Dを施すことにより、被測定試料4とカンチレバー1との間に働く原子間力を一定に保ったまま、上記導電性部分1Dを介して流れるトンネル電流を電流計10でモニタリングするように構成した。これにより、絶縁性試料表面の局所電荷分布測定を行うことが可能となる。

請求項（抜粋）：

原子間力顕微鏡のカンチレバーの一部分に導電性処理を施すことにより、被測定試料とカンチレバーとの間に働く原子間力を一定に保ったまま、上記導電性部分を介して流れるトンネル電流をモニタリングすることによって、絶縁性試料の局所電荷分布測定を行うことを特徴とする局所電荷分布測定方法。