SOI基板の作製方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-024632
公開番号（公開出願番号）：特開2009-212505
出願日： 2009年02月05日
公開日（公表日）： 2009年09月17日
要約：

【課題】貼り合わせ不良を低減し、且つ大面積の単結晶半導体膜を形成することを可能とするSOI基板の作製方法を提供することを目的の一とする。【解決手段】複数の第1の単結晶半導体膜が形成された第1の基板上に、接合層として機能する第1の絶縁膜を形成し、第1の絶縁膜を平坦化した後、第1の絶縁膜上に単結晶半導体基板を貼り合わせて熱処理を行い、第2の単結晶半導体膜を形成する。次いで、第1及び第2の単結晶半導体膜をシード層として第3の単結晶半導体膜を形成し、第3の単結晶半導体膜にイオンを導入して脆化層を形成した後、第3の単結晶半導体膜上に接合層として機能する第2の絶縁層を形成し、第2の基板を第2の絶縁膜上に重ね合わせて熱処理を行い、第2の絶縁膜を介して第2の基板上に、第3の単結晶半導体膜の一部を固定されたSOI基板を形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁表面を有する第1の基板上に、互いに離間して複数の第1の単結晶半導体膜を設け、前記第1の基板を覆うように、前記第1の単結晶半導体膜上に半導体膜を形成し、前記第1の単結晶半導体膜を露出させるように、前記半導体膜の平坦化処理を行い、前記第1の単結晶半導体膜及び前記半導体膜上に、第1の絶縁膜を形成し、所定の深さに第1の脆化層が形成された複数の単結晶半導体基板を、前記半導体膜と重畳するように、前記第1の絶縁膜上に重ね合わせ、熱処理により前記第1の脆化層にて分離することにより、前記第1の絶縁膜上に、複数の第2の単結晶半導体膜を形成し、前記第2の単結晶半導体膜をマスクとして前記第1の絶縁膜をエッチングして、前記第1の単結晶半導体膜を露出させ、前記第1の基板上に、前記第1又は第2の単結晶半導体膜をシード層として第3の単結晶半導体膜を形成し、前記第3の単結晶半導体膜にイオンを導入して、第2の脆化層を形成し、前記第3の単結晶半導体膜上に、接合層として機能する第2の絶縁膜を形成し、前記第1の基板と、絶縁表面を有する第2の基板とを重ね合わせて熱処理を行い、前記第2の脆化層にて前記第3の単結晶半導体膜を分離することにより、前記第2の絶縁膜を介して前記第2の基板上に前記第3の単結晶半導体膜の一部を固定することを特徴とするSOI基板の作製方法。

IPC (6件)：

H01L 21/20 , H01L 21/02 , H01L 27/12 , H01L 21/265 , H01L 21/336 , H01L 29/786

FI (6件)：

H01L21/20 , H01L27/12 B , H01L21/265 F , H01L21/265 Q , H01L29/78 627D , H01L27/12 R

Fターム (75件)：

5F110AA28 , 5F110BB01 , 5F110BB04 , 5F110CC02 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110EE32 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG04 , 5F110GG12 , 5F110GG24 , 5F110GG32 , 5F110GG44 , 5F110HJ01 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL04 , 5F110HL11 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110PP01 , 5F110PP02 , 5F110PP03 , 5F110PP10 , 5F110QQ11 , 5F110QQ17 , 5F110QQ19 , 5F152AA01 , 5F152AA13 , 5F152BB02 , 5F152CC02 , 5F152CC04 , 5F152CD05 , 5F152CD09 , 5F152CD13 , 5F152CD14 , 5F152CD15 , 5F152CD24 , 5F152CE03 , 5F152CE05 , 5F152CE12 , 5F152CE18 , 5F152CE25 , 5F152CE29 , 5F152CG10 , 5F152FF01 , 5F152FF11 , 5F152FF22 , 5F152FF28 , 5F152FF29 , 5F152FG04 , 5F152LL18 , 5F152LP01 , 5F152LP07 , 5F152MM04 , 5F152MM19 , 5F152NN14 , 5F152NN20 , 5F152NP13 , 5F152NP14 , 5F152NQ03

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