特許
J-GLOBAL ID：200903030754241308
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-347693
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166445
出願日： 1995年12月15日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 2軸の角速度の検出ができる小型軽量で検出感度、検出精度ともに高い角速度センサを得る。【解決手段】 板状の振動体、および該振動体の片面若しくは両面に圧電素子を貼付し、該圧電素子には少なくとも励振用電極と検出用電極を形成し、重錘体を設けたセンサ部を有する角速度センサにおいて、該センサ部のベンディング振動のノード部をワイヤーで支持する。支持位置を特定するため前記ノード部に貫通穴、若しくは凹部を設ける。また圧電素子の外形を振動体の外形より小さくする。
請求項（抜粋）：
板状の振動体、および該振動体の片面若しくは両面に板状の圧電素子を貼付し、該圧電素子には少なくとも励振用電極と検出用電極を形成し、重錘体を設けたセンサ部を有する角速度センサにおいて、該センサ部のベンディング振動のノード部をワイヤーで支持することを特徴とする角速度センサ。
IPC (4件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/09
, G03B 5/00
G01C 19/56
, G01P 9/04
, G01P 15/09
, G03B 5/00 G
