特許
J-GLOBAL ID：200903030755140025
窒化珪素質セラミックヒータ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-062739
公開番号（公開出願番号）：特開平7-272832
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【構成】窒化珪素質セラミック基体2中に発熱体3を埋設し、電極取り出し部4にロウ材5を用いてリード線6を固定するセラミックヒータにおいて、上記ロウ材5のビッカース硬度を225kg/mm2 以下とする。【効果】製造工程や使用時に熱サイクルが加わってもロウ付け部にクラックが生じにくく、耐久性の優れた窒化珪素質セラミックヒータ1を提供することができる。
請求項（抜粋）：
窒化珪素質セラミックス中に発熱体を埋設し、電極取り出し部にロウ材を用いてリード線を固定したセラミックヒータにおいて、上記ロウ材のビッカース硬度を225kg/mm2 以下としたことを特徴とする窒化珪素質セラミックヒータ。
IPC (3件)：
H05B 3/14
, F23Q 7/00
, H05B 3/48
