特許
J-GLOBAL ID:200903030763089420
隙間と段差の計測方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
北村 欣一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-312960
公開番号(公開出願番号):特開平7-167628
出願日: 1993年12月14日
公開日(公表日): 1995年07月04日
要約:
【要約】【目的】 スリット光を照射する投光器と、ワークに照射されたスリット光が描く光切断像を撮像する撮像器とを備える光学式測定装置を用い、ワークの隣接する2つのエッジ部間の隙間と段差とを精度良く計測できるようにする。【構成】 2つのエッジ部間で分断される2つの光切断画像S1、S2の夫々について各光切断画像の直線状に延在する部分を表わす第1の直線の方程式L1、L3と第1の直線に直交し各光切断画像の各エッジ部側の端点A1、A2を通る第2の直線L2、L4の方程式とを求める。第1と第2の両直線の交点Q1、Q2の座標を算定し、一方の光切断画像S1から算定される交点Q1の座標と他方の光切断画像S2から算定される交点Q2の座標とからエッジ部間の隙間と段差とを計測する。
請求項(抜粋):
ワークにスリット光を照射する投光器と、ワークに照射されたスリット光が描く光切断像を撮像する撮像器とを備える光学式測定装置を用い、撮像器の画面上の光切断画像からワークの隣接する2つのエッジ部間の隙間と段差とを計測する方法において、2つのエッジ部間で分断される2つの光切断画像の夫々について各光切断画像の直線状に延在する部分を表わす第1の直線の方程式と第1の直線に直交し各光切断画像の各エッジ部側の端点を通る第2の直線の方程式とを求めて、第1と第2の両直線の交点の座標を算定し、一方の光切断画像から算定される交点の座標と他方の光切断画像から算定される交点の座標とから前記隙間と段差とを計測することを特徴とする隙間と段差の計測方法。
IPC (3件):
G01B 11/14
, G01B 11/22
, G06T 7/00
FI (2件):
G06F 15/62 400
, G06F 15/62 415
引用特許:
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