特許
J-GLOBAL ID：200903030766860305
メタルマスクの洗浄方法及び洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-135236
公開番号（公開出願番号）：特開平8-001920
出願日： 1994年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：
【要約】【目的】 印刷用のメタルマスクの洗浄方法及び洗浄装置に関し、少ない溶剤で効率良くメタルマスクを洗浄する。【構成】 メタルマスク1に、溶剤供給部4から溶剤供給パイプ8を介して溶剤を供給する上部洗浄ユニット2の上部洗浄用ローラ5と、下部洗浄ユニット3の溶剤容器13内の溶剤に浸漬した下部洗浄用ローラ6とを接触させて矢印方向に回転し、且つ超音波振動子7から超音波振動を加えて、メタルマスク1と上部洗浄ユニット2及び下部洗浄ユニット3とを相対的に移動して、メタルマスク1に付着した印刷材料の残滓を溶剤により溶解し、且つ超音波振動によって剥離し、溶剤の流れと洗浄用ローラ5,6の回転とによって、メタルマスク1を洗浄する工程を含む。
請求項（抜粋）：
印刷用のメタルマスクを洗浄する方法に於いて、洗浄用ローラ(5),(6)に溶剤を供給して前記メタルマスク(1)の上下面に接触させ、前記溶剤を介して超音波振動子(7)から超音波振動を加えながら前記メタルマスク(1)と前記洗浄用ローラ(5),(6)及び前記超音波振動子(7)を相対的に移動させて、前記メタルマスク(1)を洗浄する工程を含むことを特徴とするメタルマスクの洗浄方法。
IPC (6件)：
B41F 35/00
, B08B 3/12
, B41F 15/08 303
, B41F 15/12
, H05K 3/12
, H05K 3/34 505
