ダイソンレンズ系

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：湯浅恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-211920
公開番号（公開出願番号）：特開平8-179217
出願日： 1995年08月21日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【課題】一次ミラーから離間され且つ平凸レンズからも離間された位置に設けられた追加のレンズを備え、この追加のレンズが非点収差を少なくし、また、アポクロマテック組立体におけるその他のレンズと協働して、全領域に亙り全色の補正を最適なものとする、ダイソン投影システムを提供すること。【解決手段】ダイソンレンズ系は、光源16と、凹型ミラー13と、平凸レンズ39とを備えている。平凸レンズ39からミラー13までの距離の大部分に亙って平凸レンズ39から離間された追加のレンズが該レンズ系内に設けられている。ルーフプリズム31及び回転プリズム32が光線を光源16から平凸レンズ39に、また平凸レンズ39から像面11に伝達する。像面11又は対物面10の何れか一方とプリズム14との間に像調節器又は補正器15が設けられ、対物面10は、光源16とプリズム14との間に配置される。

請求項（抜粋）：

ダイソンレンズ系にして、その一側部に略球面凹状ミラー面を有する一次ミラーと、光源と、前記ミラー面と同一の側部に配置され且つ前記ミラー面から離間されたレンズ群と、対物面を通じてその光源から前記レンズ群に光線を向ける手段とを備え、前記レンズ群及び前記ミラー面の構造が、前記光線が前記レンズ群を通って前記ミラー面に達し、また、前記ミラー面から前記レンズ群を通じて反射されるような構造とされ、前記反射された光線を前記レンズ群から像面に向ける手段を備え、前記レンズ群が、第一のレンズと、第二のレンズとを備え、該第二のレンズが、前記第一のレンズと前記ミラー面との間に位置し且つ前記第一のレンズから前記ミラー面への距離の大部分に亙り前記第一のレンズから離間されることを特徴とするダイソンレンズ系。

IPC (3件)：

G02B 17/08 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-251812
特開昭54-013329
特開昭62-035620

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