特許

J-GLOBAL ID：200903030772863049

露光装置及びデバイス生産方法

発明者： 千葉 裕司 ,  原 真一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-252952
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097977
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 露光転写のスループットと転写精度を高いレベルで両立させることができる装置の提供。【解決手段】 ウエハ基板を保持する保持部並びに位置計測用ミラーを保持するユニットとを備えた基板保持機構と、該保持部及びユニットに温調媒体を供給する供給機構とを有し、該保持部に供給される温調媒体の温度を調節するための調節機構を該基板保持機構の近傍に設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板を保持する保持部並びに位置計測用部材を保持するユニットとを備えた基板保持機構と、該保持部及びユニットに温調媒体を供給する供給機構とを有し、該保持部に供給される温調媒体の温度を調節するための調節機構を該基板保持機構の近傍に設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/02

FI (5件)：

H01L 21/30 531 A ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521 ,  G21K 5/02 X ,  H01L 21/30 502 H