特許

J-GLOBAL ID：200903030773890201

ターゲットおよびその製造方法

発明者： 大山 正嗣 ,  海上 暁 ,  柴田 雅敏
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (1件)： 中村 静男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-315084
公開番号（公開出願番号）：特開平6-234565
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：

【要約】【目的】 ITO膜よりも耐湿性に優れるとともにITO膜と同等の導電性および光透過率を有する透明導電膜を得るためのターゲットを提供する。【構成】 InとZnを主成分とし、一般式In2 O3 (ZnO)m (m=2〜20)で表される六方晶層状化合物を含む酸化物の焼結体からなることを特徴とするターゲット。

請求項（抜粋）：

InとZnを主成分とし、一般式In2 O3 (ZnO)m (m=2〜20)で表される六方晶層状化合物を含む酸化物の焼結体からなることを特徴とするターゲット。

IPC (3件)：

C04B 35/00 ,  C01G 15/00 ,  H01B 13/00 503

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-157618
  
• 特開平3-050148