特許
J-GLOBAL ID：200903030775948800
反射率測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-118700
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325016
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】 入射角が容易かつ正確に校正できる反射率測定装置を提供する。【構成】小開口を有する調整的と、光束がこの小開口を通過するように調整的を反射測定光学系に取り付けるための調整的位置決め手段と、被測定試料の替わりに試料基準面に合わせて取り付けられ、試料基準面となす角が試料基準面への入射光束の入射角と同一角度に設定された反射面を有する反射基準ミラーとを備え、調整的位置決め手段に取り付けられた調整的の小開口を通過した光束が、小開口を通過して反射基準ミラーの反射面で反射させられ、調整的に戻った戻り光の位置から光軸を合わせるようにする。
請求項（抜粋）：
光源から反射測定光学系内に入射された光束を、反射測定光学系内の試料基準面に合わせて取り付けた被測定試料面に入射させ、被測定試料面からの反射光を測光光学系に導入して測定する反射率測定装置において、小開口を有する調整的と、光束がこの小開口を通過するように調整的を反射測定光学系に取り付けるための調整的位置決め手段と、被測定試料の替わりに試料基準面に合わせて取り付けられ、試料基準面となす角が試料基準面への入射光束の入射角と同一角度に設定された反射面を有する反射基準ミラーとを備え、調整的位置決め手段に取り付けられた調整的の小開口を通過した光束が、小開口を通過して反射基準ミラーの反射面で反射させられ、調整的に戻った戻り光の位置から光軸を合わせるようにしたことを特徴とする反射率測定装置。
IPC (4件)：
G01M 11/02
, G01N 21/27
, G01N 21/47
, G01N 21/57
