特許

J-GLOBAL ID：200903030776903126

ガス放電装置

発明者： 村 田 隆 昭 ,  茂 庭 忍 ,  沖 田 裕 二
出願人/特許権者： 東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-048214
公開番号（公開出願番号）：特開平10-245204
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】 複数の直線状導電電極の放電ギャップの短縮化を可能にすることにより効率を向上させると共に、製品寿命を長くすること。【解決手段】 流通路7に放電ガスが送り込まれ、直線状導電電極2が交流電源6により通電されると、各直線状導電電極2間で沿面放電が発生する。直線状導電電極2の高さ方向に誘電体材料3が形成されているために、直線状導電電極2からの電界が高さ方向に延びており、従来装置よりも明らかに良好な電界分布となっている。すなわち、基板1上の表面電界を高め、放電開始を容易に行わせることができるので、印加電圧の低電圧化を図ることができ、誘電体材料3の耐電圧に関する信頼性を向上させることができる。そして、直線状導電電極2の表面は誘電体材料3により覆われているので、ガス放電中のイオン衝撃によるスパッタリング劣化を防止することができ、安定した動作が可能になる。

請求項（抜粋）：

複数の直線状導電電極を、その長手方向が放電ガス流通方向に沿うように、誘電体により形成された基板上に所定ピッチで配設し、前記放電ガス雰囲気中での前記複数の直線状導電電極への通電により、前記基板表面に沿って沿面放電を発生させるガス放電装置において、前記基板上に配設された直線状導電電極の表面を誘電体材料により被覆した、ことを特徴とするガス放電装置。