特許

J-GLOBAL ID：200903030777743459

光学系の設計方法,光学系および投影露光装置

発明者： 小松田 秀基
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-358659
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162566
出願日： 2000年11月27日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】 表面に膜が形成された面を有する光学系において,膜を考慮した場合でも,必要な光学的性能を確保できる光学系の設計方法,光学系および該結像光学系を有する投影露光装置を提供すること。【解決手段】 膜を含めずに所定の仕様に合わせて光学系を設計し,光学的波面を計算する(S10)。次に,形成すべき膜を設定し,その膜を含めて光学系を設計し,光学的波面を計算する(S20)。S10とS20の計算結果を比較する(S30)。S20で算出された波面収差がS10で算出された波面収差より小さければ,設計解として認め,次の段階の検討に入る。S20で算出された波面収差がS10で算出された波面収差より大きい場合はS20に戻り,膜を含めた光学系を設計し直す(S40)。

請求項（抜粋）：

表面に膜が形成された面を有する光学系の設計方法であって,前記膜を含めて前記光学系の光学的波面を計算する工程を含むことを特徴とする光学系の設計方法。

IPC (3件)：

G02B 17/00 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 17/00 A ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (14件)：

2H087KA21 ,  2H087LA00 ,  2H087NA04 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06 ,  2H097BA10 ,  2H097CA13 ,  2H097EA01 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046DA12