感光性樹脂前駆体組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-289567
公開番号（公開出願番号）：特開2000-119519
出願日： 1998年10月12日
公開日（公表日）： 2000年04月25日
要約：

【要約】【課題】アルカリ水溶液で短時間で現像可能で、感光性ワニスの粘度安定性の良好な感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)下記一般式(1)および/または一般式(2)で表される構造を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジドスルホン酸エステル化合物より構成されることを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物。【化1】【化2】(一般式(1)および一般式(2)のR0、R3は炭素数3から30の1価の有機基、またはケイ素原子含有有機基を示し、R1(OH)pは下記一般式(3)、(4)、(5)で表される少なくとも1種から選ばれた基を示し、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2〜6価の有機基を示す。nは1から100までの整数である。p、qは0から4までの整数であり、p、qが同時に0になることはない)

請求項（抜粋）：

(a)下記一般式(1)および/または一般式(2)で表される構造を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジドスルホン酸エステル化合物より構成されることを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物。【化1】【化2】(一般式(1)および一般式(2)のR0、R3は炭素数3から30の1価の有機基、またはケイ素原子含有有機基を示し、R1(OH)pは下記一般式(3)、(4)、(5)で表される少なくとも1種から選ばれた基を示し、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2〜6価の有機基を示す。nは1から100までの整数である。p、qは0から4までの整数であり、p、qが同時に0になることはない)【化3】(一般式(3)のR4 は少なくとも2個以上の炭素原子を有する4価から8価の有機基を示す。rは0から4までの整数である。)【化4】(一般式(4)のR5は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から8価の有機基、R6は水素、または炭素数1から10までの有機基を示す。sは0から4までの整数であり、tは0から1までの整数である。)【化5】(一般式(5)のR7は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する3から8価の有機基、R8は水素、または炭素数1から10までの有機基を示す。uは0から4までの整数であり、vは0から2までの整数である。)

IPC (7件)：

C08L 79/08 , C08K 5/42 , C08L 77/06 , G03F 7/022 , G03F 7/037 , G03F 7/039 , H01L 21/027

FI (7件)：

C08L 79/08 A , C08K 5/42 , C08L 77/06 , G03F 7/022 , G03F 7/037 , G03F 7/039 , H01L 21/30 502 R

Fターム (13件)：

2H025AA00 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭64-060630
特開平3-259148
特開平3-209478

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