特許

J-GLOBAL ID：200903030779832041

光学的膜厚測定方法

発明者： 石井 信人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 市村 健夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-254210
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074716
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 薄膜の膜厚を分光反射率により求める際に波長依存性を除去して精度の良い膜厚測定を行う。【構成】 分光反射率のデータを取り込み、曲線式を変形して該分光反射率曲線に外接する包絡線式Rmax 、Rmin を算出する。該包絡線Rmax 、Rmin の勾配が水平となるように包絡線式により前記分光反射率の曲線式の式変形を行う。あわせて前記分光反射率曲線の振幅が所定の単位振幅(1)となる規格化曲線を求める。該規格化曲線と前記包絡線との接点での波長を算出し、該波長をもとに膜厚を算定する。

請求項（抜粋）：

測定対象の薄膜試料に測定光を照射し、該薄膜試料の反射干渉光を分光測定してその分光反射率を所定の波長範囲で測定し、該分光反射率の曲線式の極値をとる波長から前記薄膜試料の膜厚を算定する光学的膜厚測定方法において、前記分光反射率の曲線式を変形して該分光反射率曲線に外接する包絡線式を算出し、該包絡線の勾配が水平となるように前記包絡線式により前記分光反射率の曲線式の式変形を行うとともに、前記分光反射率曲線の振幅が所定の単位振幅となる規格化曲線を求め、該規格化曲線と前記包絡線との接点での波長を算出し、該波長をもとに膜厚を算定したことを特徴とする光学的膜厚測定方法。