特許

J-GLOBAL ID：200903030789071740

圧電型検出器ならびにその製造方法

発明者： 藤井 覚 ,  神野 伊策 ,  鎌田 健 ,  高山 良一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-308181
公開番号（公開出願番号）：特開2000-138401
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 圧電体膜と錘部の接着工程を省略し、両者の位置合わせ精度を向上させることにより、検出感度のバラツキを押さえ、信頼性を向上を可能とする圧電型検出器とその製造に関する技術を提供する。【解決手段】 開孔部106を有する成膜基板101上に下部電極膜102、圧電体膜103、上部電極膜104を具備し、開孔部106内の下部電極膜102上に錘部107を具備する構成とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つ以上の開孔部を有する成膜基板上に下部電極膜、圧電体膜、上部電極膜を具備し、前記開孔部内の前記下部電極膜上に錘部を具備する圧電型検出器。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  G01L 1/16 ,  G01P 15/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

H01L 41/08 J ,  G01L 1/16 Z ,  G01P 15/09 ,  H01L 41/08 D ,  H01L 41/22 Z