高耐久性石英ガラス部材

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出願人/特許権者： , ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-166311
公開番号（公開出願番号）：特開2002-356339
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】プラズマを用いる半導体製造装置または液晶製造装置用の部材として好適に使用できるだけなく、それらの装置の透明性を要する部材としても好適に使用することのできる耐久性の高い石英ガラス部材を提供する。【解決の手段】Zrを0.01重量%以上2重量%以下含有し、かつ透明であることを特徴とする、ハロゲン化物ガス及びそのプラズマを利用する装置用の石英ガラス部材を用いる。

請求項（抜粋）：

Zrを0.01重量%以上2重量%以下含有し、かつ透明性を有することを特徴とするプラズマ装置用の高耐久性透明石英ガラス部材。

IPC (4件)：

C03B 20/00 , C03B 8/00 , C03C 3/06 , H01L 21/3065

FI (7件)：

C03B 20/00 F , C03B 20/00 A , C03B 20/00 C , C03B 20/00 K , C03B 8/00 A , C03C 3/06 , H01L 21/302 B

Fターム (70件)：

4G014AH00 , 4G062AA01 , 4G062BB02 , 4G062CC04 , 4G062DA08 , 4G062DB01 , 4G062DB02 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FB01 , 4G062FC02 , 4G062FC03 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM27 , 4G062NN34 , 4G062NN35 , 5F004AA15 , 5F004BB29 , 5F004DA00 , 5F004DA01 , 5F004DA04 , 5F004DA05 , 5F004DA11 , 5F004DA16 , 5F004DA17 , 5F004DA26 , 5F004DA29

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