特許
J-GLOBAL ID：200903030802871980
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-139761
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335413
出願日： 1997年05月29日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 高さ寸法が高い基板処理装置であっても、各処理部に基板を搬出入することが可能であるとともに装置の輸送時にも基板搬送手段の再組立・調整の必要のない基板処理装置を提供する。【解決手段】 搬送ロボットTR1は、パンタグラフ構造45とその鉛直方向下方にネジ送り機構55とを備えて、昇降機構を構成している。また、アーム40a、40bは水平移動が可能であるとともに、基体61は鉛直軸回りに回転可能に構成されている。従って、アーム40a、40bは3次元的に移動することが可能であり、全ての処理部に基板を搬出入することが可能である。また、装置の輸送時にもパンタグラフ構造45を縮めることによって搬送ロボットTR1の高さを輸送手段の荷物高さ制限以下とすることができ、その結果、基板搬送手段の再組立・調整の必要をなくすことができる。
請求項（抜粋）：
基板を複数の処理部に循環搬送して所定の処理を行う基板処理装置であって、鉛直方向に伸縮移動が可能な伸縮移動機構と、前記伸縮移動機構と鉛直方向に積層され、鉛直方向に立設された支柱に沿って移動可能な支柱案内移動機構と、を有する基板搬送手段を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/30 502 J
