特許
J-GLOBAL ID：200903030804498216
高周波電力供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
柳野 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-197195
公開番号（公開出願番号）：特開平7-057892
出願日： 1993年08月09日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 加工電極に高周波電力を供給して該電極近傍で反応ガスに基づく中性ラジカルとワークの原子又は分子とのラジカル反応によって生成した揮発性物質を気化させて除去し、加工を進行させてなる無歪精密加工装置に用い、ワークの加工進行に伴う加工系の負荷インピーダンスの変動に追従できるインピーダンスマッチング機構を有し、そのマッチングを何ら機械的な可動部を設けることなく連続的に行える高周波電力供給装置を提供する。【構成】 高周波電源で発生した高周波電力を、導体からなる半同軸型空洞共振器を介してワークと加工電極とを含む加工系に供給し、ワークの加工進行に伴う加工系の負荷インピーダンスの変動に応じて、加工系での電力消費効率を最大にすべく共振器の共振条件を、共振器内に可動部を設けることなく外部から液体誘電体若しくは液体導電体を注入、排出するだけで連続的に変化させてなる。
請求項（抜粋）：
高周波電源で発生した高周波電力を、導体からなる半同軸型空洞共振器を介してワークと加工電極とを含む加工系に供給する高周波電力供給装置であって、ワークの加工進行に伴う加工系の負荷インピーダンスの変動に応じて、加工系での電力消費効率を最大にすべく前記半同軸型空洞共振器の共振条件を、連続的に変化させてなることを特徴とする高周波電力供給装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, B23K 10/00 503
, C23F 4/00
