特許
J-GLOBAL ID：200903030808580804
振動角速度計
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-298032
公開番号（公開出願番号）：特開平7-151550
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 小型で安価に量産できる圧電振動角速度計を提供することを目的とする。【構成】 シリコン加工プロセスにより形成された同一平面内、同一直線上に梁形状の振動子およびそれを支持する基体と、振動子上に形成された圧電及び/または電歪材料からなる薄膜とから圧電振動角速度計を構成する。
請求項（抜粋）：
振動子と、これを支持する基体と、振動子を振動させる振動手段と、振動子の回転により発生するコリオリの力を検出する検出手段とからなる振動角速度計において、前記振動子は片持ち梁形状を有する2つの振動子であり、これらが前記1つの基体によって同一平面内、同一直線上に反対向きに支持されていることを特徴とする振動角速度計。
IPC (2件)：
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