特許

J-GLOBAL ID：200903030810419514

ダイヤモンド弾性表面波素子

発明者： 八郷 昭広 ,  中幡 英章 ,  今井 貴浩 ,  藤森 直治
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 上代 哲司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232670
公開番号（公開出願番号）：特開平5-075379
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】 高周波帯域で動作する、温度変化に対して安定な弾性表面波素子を提供する。【構成】 圧電体層と電極層とダイヤモンド層またはダイヤモンド状炭素膜層からなる弾性表面波素子に、素子の温度を一定に保つ装置を備えた。【効果】 温度変化に対して安定で、かつ数100MHzから数GHz帯の高周波領域で動作する弾性表面波素子を得ることが出来る。高周波帯の帯域通過フィルター、共振器、発振器、コンボルバー、遅延線等に好適である。

請求項（抜粋）：

圧電体層と電極層とダイヤモンド層若しくはダイヤモンド状炭素膜層とからなる弾性表面波素子において素子の温度を一定に保つ装置を備えたことを特徴とする弾性表面波素子。