特許

J-GLOBAL ID：200903030816323039

真空乾燥装置における乾燥状態検知方法並びに乾燥状態検知機構

発明者： 鈴木 秀和
出願人/特許権者： 株式会社大川原製作所
代理人 (1件)： 東山 喬彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-100641
公開番号（公開出願番号）：特開平5-272867
出願日： 1992年03月26日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【構成】本発明は真空乾燥装置1の乾燥槽3内に設けた被乾燥物Mの乾燥状態を知るためになされたものであり、被乾燥物Mを収納した乾燥槽3内を、気体をリークさせながら、コンデンサ又はコールドトラップ2を介して真空状態として被乾燥物Mの乾燥処理を行うに当たり、被乾燥物Mの乾燥状態を検知する方法において、乾燥槽3内は一定の真空状態を維持し、このときの気体のリーク流量(乾燥時リーク流量)と、乾燥槽3に被乾燥物Mを収納しないで前記一定の真空状態を維持したときの気体のリーク流量(定常時リーク流量)とを比較して被乾燥物Mの乾燥状態を知ることを特徴とする。【効果】従来のような品温による乾燥状態の管理よりも、正確に一次乾燥の終了時点を確認することができ、且つ任意の時点での乾燥状態を定量的に知ることができる。

請求項（抜粋）：

被乾燥物を収納した乾燥槽内を、気体をリークさせながら、コンデンサ又はコールドトラップを介して真空状態として被乾燥物の乾燥処理を行うに当たり、被乾燥物の乾燥状態を検知する方法において、乾燥槽内は一定の真空状態を維持し、このときの気体のリーク流量(乾燥時リーク流量)と、乾燥槽に被乾燥物を収納しないで前記一定の真空状態を維持したときの気体のリーク流量(定常時リーク流量)とを比較して被乾燥物の乾燥状態を知ることを特徴とする真空乾燥装置における乾燥状態検知方法。

IPC (3件)：

F26B 5/04 ,  F26B 5/06 ,  H01L 21/304 361