特許

J-GLOBAL ID：200903030821283720

蒸着ボート及び蒸着装置

発明者： 横山 周平
出願人/特許権者： 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社
代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-130913
公開番号（公開出願番号）：特開2008-285715
出願日： 2007年05月16日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：

【課題】膜厚均一性に優れた薄膜を蒸着法によって形成可能とする。【解決手段】 蒸着装置において蒸着材料を蒸発させるのに使用する蒸着ボートEBであって、非金属材料によって形成され蒸着材料が供給されるべき凹部RSが上面TSに設けられた抵抗発熱体HRと、抵抗発熱体HRの凹部RSを挟むように配置された一対の電極ED1及びED2と、金属材料によって形成され抵抗発熱体HRの上面TSにおいて凹部RSと少なくとも一方の電極ED1との間に配置された被覆体CBと、を備えたことを特徴とする。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

蒸着装置において蒸着材料を蒸発させるのに使用する蒸着ボートであって、 非金属材料によって形成され、蒸着材料が供給されるべき凹部が上面に設けられた抵抗発熱体と、 前記抵抗発熱体の前記凹部を挟むように配置された一対の電極と、 金属材料によって形成され、前記抵抗発熱体の上面において前記凹部と少なくとも一方の電極との間に配置された被覆体と、 を備えたことを特徴とする蒸着ボート。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

C23C14/24 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (14件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG34 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA03 ,  4K029BC03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB03 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB18

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 有機電界発光素子の製造方法および製造装置並びに有機電界発光素子を用いた表示装置の製造システムおよび製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-133536   出願人：ソニー株式会社