特許

J-GLOBAL ID：200903030827874690

薄板把持装置、薄板搬送装置および薄板検査装置

発明者： 山田 栄二
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (3件)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-028275
公開番号（公開出願番号）：特開2004-238133
出願日： 2003年02月05日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】簡単な構造で、薄板を高精度で一定の高さに安定して保持することができる薄板把持装置、薄板搬送装置および薄板検査装置を提供する。【解決手段】空気圧浮上装置26によって薄板22に押上げ力を作用させ、回転軸31によって角変位する支持体30が浮上した薄板22を上方から支持し、薄板22を浮上させた状態で保持する。回転軸31は、駆動装置32によって角変位され、前記駆動装置32は、回転軸31を介して、支持体30を角変位させ、保持された薄板22の高さを一定に維持するように制御手段28によって制御する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

水平に配置されたステージを有し、このステージ上に配置された薄板に下方から押上げ力を作用させて、その薄板を浮上させる押上げ力発生手段と、 前記押上げ力発生手段の押上げ力によって浮上する薄板を上方から支持し、高さ方向に移動可能な支持体を有する支持手段と、 前記支持手段の支持体の前記高さ方向の位置を制御する制御手段とを含むことを特徴とする薄板把持装置。

IPC (5件)：

B65G49/06 ,  G01B21/30 ,  G01N21/84 ,  G01N21/896 ,  H01L21/68

FI (5件)：

B65G49/06 Z ,  G01B21/30 ,  G01N21/84 C ,  G01N21/896 ,  H01L21/68 A

Fターム (24件)：

2F069AA60 ,  2F069BB13 ,  2F069JJ13 ,  2F069MM02 ,  2G051AA73 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051DA05 ,  2G051DA06 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031JA01 ,  5F031JA45 ,  5F031KA03 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031LA15 ,  5F031MA33