特許

J-GLOBAL ID：200903030829275211

感光性樹脂組成物

発明者： 木梨 恵市 ,  寒川 博司 ,  千葉 玲子
出願人/特許権者： ダブリュー・アール・グレース・アンド・カンパニー-コーン
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-123586
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333848
出願日： 1994年06月06日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 水で現像することができ、硬度、密着性、耐水性に優れたレジスト膜を形成することができる感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 本発明に係る感光性樹脂組成物は、エポキシ側基の一部をカルボン酸でエステル化した不飽和エポキシエステル化合物のエポキシ側基の残りを、第3級アミン及び酸成分としてリン酸又はリン酸モノエステル若しくはジエステルと反応させてリン酸陰イオンを有する第4級アンモニウム塩基とすることによって得られる不飽和エポキシエステル化合物を含むことを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

分子内に少なくとも2個のエポキシ側基を有するエポキシ化合物を、分子内に1個のカルボキシル基と1個のエチレン性不飽和結合とを有する重合性モノカルボン酸と反応させて、上記エポキシ側基の一部をエステル化して、不飽和エステル基と未反応のエポキシ側基とを有する不飽和エポキシエステル化合物を調製し、次に、該エポキシエステル化合物の未反応のエポキシ側基を、第3級アミン、及び、リン酸、リン酸モノエステル若しくはリン酸ジエステル又はこれらの混合物と反応させることによって得られた、不飽和エステル基とリン酸陰イオンを有する第4級アンモニウム塩基とを有する感光性不飽和エステル化合物、並びに光重合開始剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/038 501 ,  C08F299/02 MRV ,  C08G 59/14 NHB ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/031 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/28