特許

J-GLOBAL ID：200903030831364728

荷電粒子線露光装置

発明者： 青砥 和明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167606
公開番号（公開出願番号）：特開2000-357646
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】荷電粒子線露光装置で真空チャンバは、その内部空間を略真空に保つため鋼などの金属で構成されているが、通常金属は可視光を透過しないので、チャンバ内部を外部から観察できない。特にステージを調整するためには、ステージの動作状態を目視で観察する必要があるが、そのため開閉機構を開くと、再び内部空間を真空にするのに長時間を要する。従って開閉機構を開かずに内部空間を観察でき、調整時間を短縮できる該露光装置を提供する。【解決手段】内部空間を略真空に保つ真空チャンバと、内部空間に設けられた試料保持用ステージ手段と、内部空間に設けられ、内部空間の赤外線を赤外線画像データに変換する赤外線撮像手段と、赤外線画像データを表示するモニタ手段とを有する荷電粒子線露光装置である。

請求項（抜粋）：

内部の空間を略真空に保つ真空チャンバ手段と、前記内部の空間に設けられ、試料を保持するステージ手段と、前記内部の空間に設けられ、前記内部の空間の赤外線を赤外線画像データに変換する赤外線撮像手段と、前記赤外線撮像手段が出力する前記赤外線画像データを表示するモニタ手段と、を有する事を特徴とする荷電粒子線露光装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03B 41/00 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/305

FI (6件)：

H01L 21/30 541 U ,  G03B 41/00 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 C ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 551

Fターム (14件)：

2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C033GG03 ,  5C033PP02 ,  5C033RR03 ,  5C033UU03 ,  5C034BB06 ,  5C034BB07 ,  5F056BA10 ,  5F056BB10 ,  5F056BC08 ,  5F056CB22 ,  5F056EA14 ,  5F056EA16