特許
J-GLOBAL ID：200903030834103372
マスクパタンデータ生成方法とその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-140051
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335206
出願日： 1997年05月29日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】電子ビーム描画用マスクパタンデータを生成する処理をより高速化したい。【解決手段】入力パタンデータよりY軸に平行でない線分を抽出し(ステップS1)、各線分の端点をX軸方向でソートし(ステップS2)、その端点に沿って走査線を動かしながら、現在の走査線と直前の走査線の間に存在する線分に対して図形演算処理を行う(ステップS3)。引き続き他の図形演算処理を行う場合には(ステップS4)、得られた線分のIDが一時線分リスト11に記録されていればその線分とつなぐ(ステップS5)。最後の図形演算処理の場合は、得られた線分の組の両方のIDが一時線分リスト11に記録されている場合のみそれらをつなぐ(ステップS6)。全ての図形演算処理が終了したら(ステップS8)、線分リスト12に基づいて矩形/台形化処理を行う(ステップS9)。
請求項（抜粋）：
描画用マスクパタンデータの生成に係わる所望の処理を順次行い、マスクパタンデータより描画用マスクパタンデータを生成する方法であって、線分で示されたパタンデータより、当該マスクパタンデータを構成する線分の中の所定の方向の線分以外の線分を抽出し、前記抽出された各線分に識別コードを付与し、前記抽出された各線分からなるパタンデータを、当該線分の両端点を通過する前記所定の方向と平行な線で分割し、前記平行な線で挟まれた前記分割された領域ごとに、当該領域に存在する線分に対して、前記所望の処理の中の所定の処理を行い、前記処理の結果の線分で前記領域間で連続する線分を、当該線分に係わる前記処理の前の元のパタンデータの線分に付与された前記識別コードの一致性に基づいて検出し、前記検出された前記領域間で連続する線分を統合化して、該統合化された線分、および、前記統合化がされなかった前記処理の結果の線分で構成される新たな線分で示されたパタンデータを生成し、前記線分の抽出から前記新たな線分で示されたパタンデータの生成までの前記処理を、順次繰り返し行い、前記所望の処理が順次施された描画用マスクパタンデータを生成するマスクパタンデータ生成方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 541 J
, G03F 1/08 A
, H01L 21/30 502 P
